Cobre de tungstênio para substratos
Cobre de tungstênio para substratos
Um componente de motor de foguete é formado como um substrato composto de tungsténio-cobre e um revestimento de material gradiente funcionalmente sobrepondo e contactando o substrato. O revestimento de material gradiente funcionalmente tem uma composição que varia de forma não linear através de uma espessura do revestimento de modo a minimizar tensões térmicas através do revestimento e de tal modo que o revestimento de material com gradiente funcional é tungsténio adjacente ao substrato e o rénio está afastado do substrato . Numa forma preferida, o revestimento de material gradiente funcionalmente inclui uma subcamada de tungsténio que se sobrepõe e contacta o substrato, uma subcamada de tungsténio-rénio que se sobrepõe e contacta a camada secundária de tungsténio; E uma camada secund�ia de r�io que sobrep� e contacta a camada secund�ia de tungst�io-r�io. O revestimento de material funcionalmente gradiente é de preferência aplicado por uma técnica de deposição a baixa temperatura tal como deposição de vapor químico aumentada por plasma.
Embalagem de wafer-nível pode resultar em melhoria significativa de rendimento, redução de custos e outras melhorias na função. Para dispositivos de potência, o desfasamento entre os coeficientes de expansão térmica (CTE) entre o dispositivo eo substrato de montagem ou embalagem pode induzir estresse que reduz a confiabilidade. A adaptação de materiais compósitos compatíveis com CTE a sistemas de embalagens de nível de wafer seria benéfica. Descrevemos processos e mostram dados para substratos de cobre-tungstênio que atendem às especificações de wafer para a forma e o acabamento.
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