Rame di tungsteno per substratos
Rame di tungsteno per substrato
Un componente del motore a razzo è formato come un substrato composito in rame tungsteno e un rivestimento materiale a gradiente che sovrappone e si contatta il substrato. Il rivestimento del materiale a gradiente funzionale ha una composizione che varia in modo non lineare attraverso uno spessore del rivestimento in modo da minimizzare le sollecitazioni termiche attraverso il rivestimento e tale che il rivestimento del materiale a gradiente funzionale è tungsteno adiacente al substrato ed è reniio a distanza dal substrato . In una forma preferita, il rivestimento del materiale a gradiente funzionale comprende uno strato sottile di tungsteno sovrastante e contattando il substrato, uno strato sottile di tungsteno-renium sovrastante e contattando lo strato secondario del tungsteno; E uno strato di renium sovrastante e contattando lo strato sottile di tungsteno-renium. Il rivestimento del materiale a gradiente funzionale è preferibilmente applicato da una tecnica di deposizione a bassa temperatura come la deposizione chimica del vapore chimico.
L'imballaggio a livello di wafer può portare a un miglioramento significativo delle rese, ai risparmi di costi e ad altri miglioramenti nella funzione. Per i dispositivi di potenza, la mancata corrispondenza tra i coefficienti di dilatazione termica (CTE) tra il dispositivo e il supporto o il pacchetto di montaggio può indurre lo stress che riduce l'affidabilità. L'adattamento dei materiali compositi adattati a CTE a schemi di confezionamento a livello di wafer sarebbe vantaggioso. Descriviamo processi e mostriamo i dati relativi ai substrati di tungsteno-rame che soddisfano le specifiche delle forme per forma e finitura.
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