Metodo di sinterizzazione del foglio di rame di tungsteno
lega di rame tungsteno non è una fase di legame di rame costituita da particelle di tungsteno e una struttura cubica a facce centrate della struttura cubica a corpo centrato, sia la soluzione né l'altro per formare composti intermetallici, sono compositi. lega di rame tungsteno comunemente indicato come pseudo-lega o falsa lega, sia ad alta resistenza, elevata durezza, basso coefficiente di espansione e altre caratteristiche hanno tungsteno, rame ha anche ad alta plasticità e buona conducibilità elettrica e termica e altre proprietà, quindi, LSI E dispositivi a microonde ad alta potenza, materiale in lega di rame di tungsteno come substrato, blocchi incorporati, connettori e componenti di raffreddamento sviluppati rapidamente. L'alta conducibilità termica e la lega di rame del tungsteno di resistenza al calore hanno notevolmente migliorato l'uso dei dispositivi microelettronici di potenza, le dimensioni del dispositivo; E un opportuno coefficiente di espansione termica può essere dispositivi microelettronici di silicio, arsenide di gallio e altri materiali a semiconduttore e materiali ceramici molto utili collegamento di buona corrispondenza, per evitare danni termici di fatica causati da stress termico; Questa combinazione unica delle proprietà rende lamiera in lega di rame di tungsteno in LSI e dispositivi elettronici ad alta potenza come imballaggi elettronici e materiali di deposizione termica sono stati ampiamente utilizzati.
Metodo di sinterizzazione del foglio di rame di tungsteno
Il metodo esistente di sinterizzazione del foglio di rame di tungsteno comprende quanto segue:
1. Metodo di sinterizzazione polvere ultrafina / nano-lega direttamente; Questo metodo utilizza la lega meccanica, sol-gel
Francia, una sintesi di processi termochimici di rame di tungsteno ultrafine è stata mescolata in polvere, dopo la formatura, sinterizzazione a 1200 ℃ a 1350 ℃, può essere fatta direttamente di vari componenti di lega di tungsteno-rame ad alta densità.
2. Metodo di sinterizzazione in fase liquida attivata; il metodo aggiunta una quantità in tracce (0. LWT% 0. 5% in peso) un terzo elemento metallico Pd, Ni, Co o Fe tungsteno-rame ed altri materiali per promuovere rame insolubile nella fase tungsteno venne sciolto nella fase rame mediante Formando una fase Y contenente questi elementi metallici nella fase liquida durante la sinterizzazione, riducendo così la temperatura di sinterizzazione, diminuisce il tempo di sinterizzazione e migliora notevolmente la densità sinterizzata.
3. un metodo di infiltrazione; polvere di tungsteno che viene dapprima compressa in bricchette, e poi calcite ad una temperatura e per la preparazione di uno scheletro di tungsteno poroso con una certa densità e forza, dopo che il metallo a basso punto di fusione di infiltrarsi nel fuso scheletro tungsteno rame, ottenendo una lega di rame densa tungsteno Materiale. Meccanismo di questo metodo è che quando il metallo liquido bagnano il substrato poroso, il metallo fuso riempie i pori della forza capillare del scheletro del tungsteno poroso allo spazio lungo il flusso delle particelle, in modo da ottenere un materiale denso. Tuttavia, un'analisi approfondita mostra che la tecnologia sinterizzata, metodi sinterizzati di lega di rame di tungsteno sono una serie di problemi:
1) Per la polveri ultrafine / nano-lega che sinterizzano diretta, lunga durata di preparazione (generalmente) 50h), capacità di produzione su piccola scala, che hanno limitato la produzione industriale; E aumentare notevolmente la dimensione del grano dopo la sinterizzazione a fase solida, con altri metodi convenzionali Dopo il metodo di sinterizzazione simili dimensioni, microstrutture e altri sinterizzazione in fase liquida è simile; Inoltre, il metodo è anche facile da introdurre altri elementi di impurezza che influenzano le prestazioni del prodotto finale.
2) Attivazione del metodo di sinterizzazione in fase liquida dell'attivatore per l'aggiunta di proprietà di conducibilità termicamente significativamente inferiori, questo metodo richiede una elevata conducibilità elettrica e termica dei materiali microelettronici è sfavorevole.
3) Un metodo di infiltrazione nell'infiltrato è necessario lavorare per rimuovere il metallo in eccesso di rame, ma questo metodo aumenta i costi di lavorazione successivi, riduce la resa e non favorisce l'utilizzo dei componenti di forma complessa.
Principalmente a causa della presenza dell'analisi tecnica precedente descritta di ciascuno dei metodi di cui sopra è che molti difetti anche se il tungsteno e il rame hanno una buona bagnabilità, ma a causa delle differenze significative tra le due proprietà fisiche e quindi sono direttamente sinterizzate nella convenzionale Caso, anche se la sinterizzazione della fase liquida è impossibile ottenere direttamente prodotti ad alta densità sinterizzata. Pertanto, come fare uso di metodi appropriati basati sull'attivazione degli elementi senza aggiungere ad alta densità sinterizzato e distribuzione a due fasi di lega di rame tungsteno, e alta efficienza di produzione, evitando le successive fasi di lavorazione, è la chiave per superare le carenze Della tecnica precedente Un problema tecnico è la preparazione del tecnico della lega di rame di tungsteno risolto.
problemi tecnici sinterizzazione foglio di rame tungsteno da risolvere è quello di superare la tecnologia lega di rame sinterizzata tungsteno esistente, il tempo di preparazione metodo lunga polvere ultrafine / nano-lega di sinterizzazione, la capacità di produzione diretta su piccola scala, il prodotto non è notevolmente migliorata e microstrutturaLa facile introduzione di impurità incide sulle prestazioni del prodotto; O l'attivazione del metodo di sinterizzazione in fase liquida dell'attivatore può ridurre in modo significativo le proprietà conduttive termiche aggiunte del materiale, non adatte ai requisiti di elevata conducibilità elettrica e termica dei materiali microelettronici; O dopo il metodo di infiltrazione, i costi di lavorazione, i rendimenti inferiori, non favoriscono l'utilizzo di parti complesse come difetti di forma, purché un metodo di sinterizzazione in lamiera di lega di tungsteno-rame.Metodo di sinterizzazione del foglio di rame di tungsteno CaseMetodo di sinterizzazione del foglio Di rame di tungsteno della presente invenzione, comprendente le fasi di: atmosfera di idrogeno, lastra grezzo in lega di rame tungsteno 0 4 mm spessore 2. Omm una sinterizzazione continua in fase liquida può spingere la barca; Che, le condizioni di sinterizzazione in fase liquida continua a spingere la barca a spingere la velocità della barca è 0. 15 cm / min a 0. 5 cm / min; Una temperatura di sinterizzazione di 1250 ℃ 15500C; Un tempo di mantenimento di 1 4 ore. Nella presente invenzione, in cui lo spessore di 0,4 mm una lastra grezzo di lega di rame di tungsteno da 2 mm può essere preparata secondo metodi convenzionali nell'arte, generalmente stampaggio o metodo di pressatura isostatica a freddo, anche commercialmente a disposizione. Per la presente invenzione, gli inventori hanno rilevato che un gran numero di studi sperimentali, nell'ambito di questa scelta particolare, la lega utilizzata per preparare lastre grezze di fogli di lega di rame tungsteno, Metodo di sinterizzazione Le altre condizioni sono molto favorevoli allo scarico della diffusione di fase di rame e dei pori di sinterizzazione e semplificano direttamente le procedure di elaborazione successive di sinterizzazione. Tra di essi, il contenuto di ogni campo orientato alla componente di lega di rame tungsteno convenzionale del contenuto di tungsteno e rame della lastra grezzo in lega di rame metallico di tungsteno descritto, generalmente un tenore di tungsteno del 50wt% 90wt; Il contenuto di rame l0wt% ~ 50wt%. La presente invenzione, l'atmosfera di idrogeno nel processo di sinterizzazione dell'invenzione, la riduzione di idrogeno di tungsteno e rame può essere ossidata, la superficie di rame di tungsteno delle due fasi può essere aumentata, La presente invenzione, la sinterizzazione in fase liquida continua spinge l'operazione normale della barca, tipicamente il lingotto di lega in un forno ad alta temperatura spinge continuamente la sinterizzazione della fase liquida della barca, specifica della presente invenzione, La presente invenzione è particolarmente preferibilmente combinata con condizioni specifiche, la sinterizzazione continua di fase liquida spinge la barca per fare lega di rame di tungsteno di fase di fusione di lastre di rame anteriore alla schiena, in quanto la prima fase di fusione fusa può penetrare completamente lo scheletro di tungsteno, Migliorare ulteriormente la densità del prodotto sinterizzato. Quando la sinterizzazione continua della fase liquida spinge la barca sinterizzante A partire da 1250 ℃ a 15500C, quando la lastra grezzo di lega di rame di tungsteno in questa gamma di temperature per la sinterizzazione in fase liquida a temperatura elevata, la temperatura preferita è particolarmente vantaggiosa per ridurre l'angolo di ammasso del rame di tungsteno delle due fasi, in modo che il tungsteno bifase Rame uniformemente distribuito e migliorare la densità di sinterizzazione.
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