Cobre de tungsteno para el sustratos
Cobre de tungsteno para el sustrato
Un componente de motor de cohete está formado como un sustrato compuesto de tungsteno-cobre, y un recubrimiento de material de gradiente funcional que recubre y pone en contacto el sustrato. El revestimiento de material de gradiente funcional tiene una composición que varía no linealmente a través de un grosor del revestimiento para minimizar las tensiones térmicas a través del revestimiento y de tal manera que el revestimiento de material de gradiente funcional sea tungsteno adyacente al sustrato y rehenio alejado del sustrato . En una forma preferida, el revestimiento de material de gradiente funcional incluye una subcapa de tungsteno que recubre y pone en contacto el sustrato, una subcapa de tungsteno-renio recubriendo y poniendo en contacto la sub capa de tungsteno; Y una subcapa de renio que recubre y pone en contacto la sub capa de tungsteno-renio. El recubrimiento de material funcionalmente gradiente se aplica preferiblemente mediante una técnica de deposición a baja temperatura tal como deposición química en fase de vapor por plasma.
El envasado a nivel de wafer puede resultar en una mejora significativa del rendimiento, ahorro de costos y otras mejoras en la función. Para dispositivos de potencia, el desajuste entre los coeficientes de expansión térmica (CTE) entre el dispositivo y el sustrato de montaje o paquete puede inducir un esfuerzo que reduce la fiabilidad. La adaptación de materiales compuestos CTE-emparejados a los sistemas de empaquetado a nivel de oblea sería beneficiosa. Describimos los procesos y muestran datos para sustratos de cobre-tungsteno que cumplen con las especificaciones de la oblea para la forma y el acabado.
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