Método de sinterización de chapa de cobre de tungsteno
La aleación de cobre de tungsteno no es una fase de unión de cobre que consiste en partículas de tungsteno y una cara centrada estructura cúbica de la estructura cúbica centrada en el cuerpo, tanto la solución como para formar compuestos intermetálicos, son compuestos. Aleación de cobre de tungsteno comúnmente conocido como pseudo-aleación o aleación falsa, tanto de alta resistencia, alta dureza, bajo coeficiente de expansión y otras características tienen tungsteno, el cobre también tiene alta plasticidad y buena conductividad eléctrica y térmica y otras propiedades, por lo tanto, LSI Y los dispositivos de microondas de alta potencia, material de aleación de cobre de tungsteno como el sustrato, bloques incrustados, conectores y componentes de refrigeración desarrollado rápidamente. La alta conductividad termal y la aleación de cobre del tungsteno de la resistencia térmica mejoraron grandemente el uso de los dispositivos microelectrónicos de la energía, el tamaño del dispositivo; Y un coeficiente adecuado de expansión térmica puede ser dispositivos microelectrónicos de silicio, arseniuro de galio y otros materiales semiconductores y materiales de cerámica muy útil enlace de coincidencia buena, para evitar el daño de fatiga térmica causada por el estrés térmico; Esta combinación única de propiedades hace que la hoja de aleación de cobre de tungsteno en LSI y dispositivos electrónicos de alta potencia como el embalaje electrónico y los materiales de deposición térmica han sido ampliamente utilizados.
Método de sinterización de chapa de cobre de tungsteno
Existen métodos de sinterización de chapa de cobre de tungsteno incluyen lo siguiente:
1. Ultrafina / nano-aleación en polvo método de sinterización directamente; Este método utiliza aleaciones mecánicas, sol-gel
Francia, una síntesis de maquinaria de proceso termo-químico de cobre de tungsteno ultrafino fue polvo mixto, después de la formación, sinterización a 1200 ℃ a 1350 ℃, puede ser hecha directamente de diversos componentes de alta densidad de aleación de cobre-tungsteno.
2. Método de sinterización en fase líquida activada; El método de adición de una cantidad traza (0,1% en peso a 0,5% en peso) un tercer elemento metálico Pd, Ni, Co o Fe en cobre de tungsteno y otros materiales para promover el cobre insoluble en la fase de tungsteno se disolvió en la fase de cobre por Formando una fase Y que contiene estos elementos metálicos en la fase líquida durante la sinterización, reduciendo de este modo la temperatura de sinterización, reduciendo el tiempo de sinterización y mejorando en gran medida la densidad sinterizada.
3. Un método de infiltración; El polvo de tungsteno que primero se comprime en briquetas y luego se calcita a una temperatura y para preparar un esqueleto de tungsteno poroso con una cierta densidad y resistencia después de que el metal de bajo punto de fusión infiltre el esqueleto de cobre tungsteno fundido, material. El mecanismo de este método es que cuando el metal líquido moja el sustrato poroso, el metal fundido llena los poros de la fuerza capilar de esqueleto poroso de tungsteno en el intersticio a lo largo del flujo de partículas, para obtener un material denso. Sin embargo, un análisis más detallado muestra que la tecnología sinterizada, aleación de cobre tungsteno sinterizado métodos existentes son una serie de problemas:
1) Para el polvo ultrafino / de la aleación de la nano-sinterización directo, tiempo largo de la preparación (generalmente) 50h), capacidad de producción a pequeña escala, que han limitado la producción industrial; Y crecer significativamente el tamaño del grano después de la sinterización en fase sólida, con otros convencionales Después del método de sinterización tamaño similar, la microestructura y otros sinterización en fase líquida es también similar; Además, el método también es fácil de introducir otros elementos de impureza que afectan el rendimiento del producto final.
2) La activación del método de sinterización en fase líquida del activador de adición de propiedades de conductividad térmica significativamente más bajas, este método requiere una alta conductividad eléctrica y térmica de materiales microelectrónicos es desfavorable.
3) Se mecaniza un método de infiltración en la infiltración para eliminar el exceso de cobre metálico, pero este método aumenta los costes de mecanizado subsiguientes, reduce el rendimiento y no conduce al uso de los componentes de forma compleja.
Principalmente debido a la presencia del análisis de la técnica anterior descrito anteriormente de cada uno de los métodos anteriores, es que muchos defectos, aunque el tungsteno y el cobre tienen buena humectabilidad, pero debido a diferencias significativas entre las dos propiedades físicas, y por lo tanto se sinteriza directamente en el convencional Caso, incluso si la fase líquida de sinterización, es imposible obtener directamente productos sinterizados de alta densidad. Por lo tanto, la forma de hacer uso de métodos adecuados basados en la activación de los elementos sin la adición de alta densidad sinterizada y la distribución de dos fases de aleación de cobre de tungsteno, y la alta eficiencia de producción, evitando las etapas de procesamiento subsecuentes, es la clave para superar las deficiencias De la técnica anterior Un problema técnico es la preparación del técnico de aleación de cobre de tungsteno resuelto.
Problemas técnicos de sinterización de tungsteno de cobre hoja a ser resuelto es superar la tecnología sinterizada de aleación de cobre de tungsteno sinterizado, el largo tiempo de preparación ultrafina / nano-aleación en polvo método de sinterización directa, a pequeña escala la capacidad de producción,La introducción de impurezas afecta el rendimiento del producto; O activación del método de sinterización en fase líquida activadora puede reducir significativamente las propiedades térmicas conductoras añadidas del material, no adecuadas para los requisitos de alta conductividad eléctrica y térmica de materiales microelectrónicos; O después de que el método de la infiltración requiera costes de mecanización, rendimientos más bajos, no conduce al uso de las piezas complejas tales como defectos en forma, proporcionó un método de la sinterización de la hoja de la aleación de tungsteno-cobre.Método de sinterización de chapa de cobre de tungsteno CaseMétodo de sinterización de chapa De cobre de tungsteno de la presente invención, que comprende las etapas de: una atmósfera de hidrógeno, la aleación de cobre tungsteno-aleación cruda 0. 4 mm de espesor 2. Omm una sinterización en fase líquida continua puede empujar la embarcación; Que, las condiciones continuas de sinterización de fase líquida empujar el barco en empujar la velocidad del barco es de 0. 15cm / min a 0. 5cm / min; Una temperatura de sinterización de 1250 ℃ 15500C; Un tiempo de retención de 1 4 horas.En la presente invención, en la que el espesor de la losa cruda de aleación de cobre de 0,4 mm a 2. Omm de tungsteno puede prepararse de acuerdo con métodos convencionales en la técnica, generalmente moldeo o método de presión isostática en frío, también comercialmente disponible. Para la presente invención, 0,4 0,21 mm de espesor de Omm de elección, los inventores han encontrado que un gran número de estudios experimentales, dentro del alcance de esta elección particular, de la aleación utilizada para preparar la losa cruda de hoja de aleación de cobre de tungsteno, Sinterización Las otras condiciones son muy propicias a la descarga de difusión de fase de cobre y poros de sinterización y simplificar directamente los procedimientos de procesamiento posteriores métodos de sinterización. Entre ellos, el contenido de cada uno de los componentes orientados al campo de la aleación de cobre de tungsteno convencional de tungsteno y contenido de cobre de la aleación de cobre metálico de tungsteno de la lesa cruda descrito, en general, un contenido de tungsteno de 50wt% 90wt; Se puede oxidar la superficie de cobre de tungsteno de las dos fases, para facilitar más el proceso de sinterización de la invención, la reducción de hidrógeno de tungsteno y cobre, La presente invención, la sinterización en fase líquida continua en la técnica empuja el funcionamiento normal del barco, típicamente el lingote de aleación en un horno de alta temperatura empuja continuamente el sinterizado en fase líquida del barco, específico de la presente invención, La presente invención se combina de forma especialmente preferente con condiciones específicas, sinterización en fase líquida continua empujar la embarcación para fabricar aleación de cobre de tungsteno de la fase de fusión de la plancha de cobre de frente a atrás, ya que la primera fase de cobre fundido puede penetrar completamente el esqueleto de tungsteno, Mejoran adicionalmente la densidad del producto sinterizado. Donde en la sinterización en fase líquida continua empujan el tempe de sinterización de barco Cuando la laca cruda de aleación de cobre de tungsteno en este rango de temperatura para la sinterización en fase líquida de alta temperatura, la temperatura preferida es particularmente ventajosa para reducir el ángulo de humedecimiento de cobre de tungsteno de las dos fases, de modo que el tungsteno bifásico Cobre uniformemente distribuido, y mejorar la densidad de sinterización.
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