Méthode de frittage de tungstène en cuivre
L'alliage de cuivre en tungstène n'est pas une phase de liaison en cuivre composée de particules de tungstène et une structure cubique centrée sur le visage de la structure cubique centrée sur le corps, à la fois la solution ni l'une à l'autre pour former des composés intermétalliques, sont des composites. L'alliage de cuivre de tungstène communément appelé alliage pseudo-alliage ou faux, à la fois haute résistance, haute dureté, faible coefficient de dilatation et d'autres caractéristiques ont du tungstène, le cuivre a également une forte plasticité et une bonne conductivité électrique et thermique et d'autres propriétés, donc LSI Et des appareils hyperfréquences de haute puissance, du matériau en alliage de cuivre en tungstène, le substrat, les blocs intégrés, les connecteurs et les composants de refroidissement se développent rapidement. La haute conductivité thermique et l'alliage de cuivre de tungstène à résistance à la chaleur ont considérablement amélioré l'utilisation de dispositifs microélectroniques de puissance, la taille de l'appareil; Et un coefficient de dilatation thermique approprié peut être des dispositifs microélectroniques en silicium, de l'arséniure de gallium et d'autres matériaux semi-conducteurs et des matériaux céramiques, une liaison de bonne qualité très utile, afin d'éviter les dommages causés par la fatigue thermique causés par le stress thermique; Cette combinaison unique de propriétés rend la feuille d'alliage de cuivre de tungstène dans LSI et les appareils électroniques de haute puissance comme conditionnement électronique et matériaux de dépôt thermique ont été largement utilisés.
Méthode de frittage de tungstène en cuivre
Méthode de frittage de tungstène en cuivre existant sont les suivants:
1. Procédé de frittage en poudre ultrafin / nano-alliage directement; Cette méthode utilise l'alliage mécanique, le sol-gel
France, une synthèse de la machine de traitement thermo-chimique du cuivre de tungstène ultrafin a été la poudre mélangée, après la formation, le frittage à 1200 ℃ à 1350 ℃, peut être directement composé de divers composants en alliage de tungstène-cuivre haute densité.
2. Méthode de frittage en phase liquide activée; La méthode ajoutant une quantité de traces (0. lwt% a 0. 5wt%) un troisième élément métallique Pd, Ni, Co ou Fe dans du tungstène-cuivre et d'autres matériaux pour favoriser le cuivre insoluble dans la phase de tungstène a été dissous dans la phase de cuivre par Formant une phase Y contenant ces éléments métalliques en phase liquide pendant le frittage, réduisant ainsi la température de frittage, le temps de frittage étant raccourci et améliorant considérablement la densité frittée.
3. Une méthode d'infiltration; Poudre de tungstène qui est d'abord comprimée en briquettes, puis calcite à une température et pour préparer un squelette de tungstène poreux avec une certaine densité et résistance, après le faible point de fusion du métal pour infiltrer le squelette en tungstène en cuivre fondu, obtenant ainsi un alliage de cuivre tungstène dense Matériel. Le mécanisme de ce procédé est que lorsque le métal liquide mouille le substrat poreux, le métal fondu remplit les pores de la force capillaire du squelette de tungstène poreux à l'écart le long du flux de particules, de manière à obtenir un matériau dense. Cependant, une analyse plus approfondie montre que la technologie frittée, les alliages de tungstène frittés en alliage de cuivre existant sont une série de problèmes:
1) Pour le frittage en poudre ultrafin / nano-alliage direct, long temps de préparation (en général) 50h), la capacité de production à petite échelle, qui a limité la production industrielle; Et augmenter considérablement la taille du grain après le frittage en phase solide, avec d'autres méthodes classiques après frittage, la taille similaire, la microstructure et d'autres frittage en phase liquide est également similaire; En outre, la méthode permet également d'introduire d'autres éléments d'impuretés affectant la performance finale du produit.
2) Activation du procédé de frittage en phase liquide de l'activateur pour ajouter des propriétés de conductivité thermique nettement inférieures, cette méthode requiert une conductivité électrique et thermique élevée des matériaux microélectroniques est défavorable.
3) Une méthode d'infiltration infiltrée doit être usinée pour éliminer l'excès de cuivre métallique, mais cette méthode augmente les coûts d'usinage ultérieurs, réduit le rendement et ne favorise pas l'utilisation des composants de forme complexe.
Principalement en raison de la présence de l'analyse de l'art antérieur décrite ci-dessus de chacun des procédés ci-dessus, il y a de nombreux défauts bien que le tungstène et le cuivre présentent une bonne mouillabilité, mais en raison de différences significatives entre les deux propriétés physiques, et est donc directement fritté dans le classique Même si le frittage en phase liquide, il est impossible d'obtenir directement des produits frittés haute densité. Par conséquent, comment utiliser des méthodes appropriées basées sur l'activation des éléments sans ajouter une distribution haute densité fritté et en deux phases d'alliage de cuivre en tungstène et une efficacité de production élevée, en évitant les étapes de traitement ultérieures, est la clé pour surmonter les lacunes De l'art antérieur. Un problème technique est la préparation du technicien en alliage de cuivre de tungstène résolu.
Problèmes techniques La synthèse de la tôle de cuivre en tungstène à résoudre est de surmonter la technologie de l'alliage de cuivre en tungstène fritté existante, le temps de préparation prolongé, la méthode de frittage en poudre ultra-fine / nano-alliage de la capacité de production directe et à petite échelle, le produit n'a pas amélioré la microstructure et l'introduction facile D'impuriti
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