기판 용 텅스텐 구리s
기판 용 텅스텐 구리
로켓 엔진 구성 요소는 텅스텐 - 구리 복합 기판 및 기판에 겹쳐 접촉하는 기능적 - 경사 재료 코팅으로 형성된다. 기능적으로 기울기를 갖는 재료 코팅은 코팅을 통한 열 응력을 최소화하도록 코팅 두께를 비선형 적으로 변화시키는 조성을 가지며, 기능적으로 기울기를 가진 재료 코팅이 기판에 인접하여 텅스텐이고 기판으로부터 먼 레늄이다 . 바람직한 형태에서, 기능적 - 경사 재료 코팅은 기판 위에 놓이고 접촉하는 텅스텐 서브 층, 텅스텐 서브 층을 덮고 접촉하는 텅스텐 - 레늄 서브 층; 및 상기 텅스텐 - 레늄 서브 층을 덮고 접촉하는 레늄 서브 층; 기능적 - 경사 물질 코팅은 바람직하게는 플라즈마 강화 화학 기상 증착과 같은 저온 증착 기술에 의해 적용된다.
웨이퍼 레벨 패키징은 상당한 수율 향상, 비용 절감 및 기타 기능 향상을 가져올 수 있습니다. 전력 디바이스의 경우, 디바이스와 실장 기판 또는 패키지 사이의 열팽창 계수 (CTE)의 불일치로 인해 신뢰성이 저하 될 수 있습니다. CTE와 일치하는 복합 재료를 웨이퍼 레벨 패키징 체계에 적용하는 것이 유용 할 것입니다. 우리는 공정을 기술하고 형태 및 마감을위한 웨이퍼 사양을 충족시키는 텅스텐 - 구리 기판에 대한 데이터를 보여줍니다.
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