Wolframkupfer für Substrats
Wolframkupfer für Substrat
Eine Raketentriebwerkskomponente wird als ein Wolfram-Kupfer-Verbundsubstrat gebildet, und eine funktionell abgestufte Materialbeschichtung, die über dem Substrat liegt und diese berührt. Die funktionell abgestufte Materialbeschichtung weist eine Zusammensetzung auf, die sich nichtlinear durch eine Dicke der Beschichtung ändert, um thermische Spannungen durch die Beschichtung zu minimieren, und dass die funktionell abgestufte Materialbeschichtung Wolfram neben dem Substrat ist und Rhenium entfernt von dem Substrat ist . In einer bevorzugten Form umfasst die funktionell-gradienten Materialbeschichtung eine Wolfram-Unterschicht, die über dem Substrat liegt und diese kontaktiert, eine Wolfram-Rhenium-Unterschicht, die über der Wolfram-Unterschicht liegt und diese kontaktiert; Und eine Rhenium-Unterschicht, die über der Wolfram-Rhenium-Unterschicht liegt und diese kontaktiert. Die funktionell abgestufte Materialbeschichtung wird vorzugsweise durch eine Tieftemperaturabscheidungstechnik, wie plasmaverstärkte chemische Dampfabscheidung, aufgebracht.
Wafer-Level-Verpackungen können zu einer signifikanten Rendite Verbesserung, Kosteneinsparungen und andere Verbesserungen in der Funktion führen. Bei Leistungsgeräten kann eine Fehlanpassung zwischen den Koeffizienten der thermischen Ausdehnung (CTEs) zwischen dem Gerät und dem Befestigungssubstrat oder -paket eine Belastung induzieren, die die Zuverlässigkeit verringert. Die Anpassung von CTE-abgestimmten Verbundwerkstoffen an Wafer-Level-Verpackungsanlagen wäre von Vorteil. Wir beschreiben Prozesse und zeigen Daten für Wolfram-Kupfer-Substrate, die Wafer-Spezifikationen für Form und Finish erfüllen.
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